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二维材料具有独特的单分子层晶体结构,例如石墨烯是由碳原子组成的二维材料。“二维材料及器件有高载流子迁移率、丰富电学性能等特点,在1纳米的条件下仍能正常工作,有望突破传统半导体器件的极限。”张远波介绍,近年来,在二维材料的缺陷调控、应力调控、电荷调控、转角堆叠调控等方面,学界取得了巨大进步。例如,晶圆级的二维材料生长已经实现,基于二维半导体集成工艺也已经能够实现大部分硅基电路功能。
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