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导读二维材(cái)料具(jù)有独(dú)特(tè)的单(dān)分子层晶体结(jié)构,例如石墨(mò)烯是由碳原子(zi)组成的二维(wéi)材(cái)料(liào)。“二维(wéi)材料及器件有高载流(liú)子迁移率、丰富电学性能(néng)等(děng)特(tè)点,在(zài)1纳米(mǐ)的条件下仍能正常工(gōng)作,有望突破传统半导体(tǐ)器件的极限。”张远(yuǎn)波介绍,近年来,在二维材(cái)料的(de)缺陷调控、应力调控、电荷调控、转角堆(duī)叠(dié)调控(kòng)等方面,学界取得了巨大进步。例如,晶圆(yuán)级的二维材料生长已经实(shí)现,基于二维半导(dǎo)体集成工(gōng)艺也(yě)已经能够实现大部分硅(guī)基电路(lù)功能。
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